近幾年，
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，國內LED產值扶搖直上，
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，根據國內市調機構IEK資料預估，
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，2015年台灣LED產業產值約新台幣1，
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，194億元，
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，高居全球前三名。除了整體產能大幅提升，LED磊晶良率逐年升高也功不可沒。LED磊晶製程相當繁複，氣體組成和流量、壓力、基板溫度和轉速等參數會交互影響，往往需要花很長的時間來設定及調整參數。 工研院／提供 分享 facebook twitter pinterest 事實上，LED磊晶製程難度不低，靠的是一群經驗豐富的工程師，逐一調校每次磊晶的參數，包括溫度、壓力、流量和轉速，每組參數需要耗費6～8小時調校，找出最佳化製程參數往往耗費長達一周。這樣的過程讓磊晶製程面臨兩大問題，一是製程須仰賴具有多年磊晶經驗的工程師判斷參數設定，因此「人」成為良率高低的關鍵所在，萬一面臨人員流動，又必須重新與機台磨合參數。另一大問題就是調校參數時程過長，影響生產流程效率。工研院LED研發團隊在拜訪多家國內LED相關業者後發現，磊晶製程參數是上游業者普遍面臨的困境，因而著手研發「磊晶製程參數優化系統」，結合大數據以及生產力4.0虛實整合的技術，讓磊晶製程就像有個經驗超級豐富的「老師傅」在下指導棋，不用2小時就可以找出最佳化參數，加快產品上市時間，搶得市場先機！不只是上市時間加快，磊晶製程參數優化系統可增加5%到7%的產能，並獲得準確度92%以上的鍍膜速率與均勻性預測；研發新結構的成本也可減少60%到70%，建構快速彈性的新產品研發優勢。「我們發現國內LED業者花很多時間在尋找最佳化磊晶製程參數，無法有效率建立數位化巨資資料庫，進而激發靈感，這會是我們能夠著墨發揮的點。」工研院機械所研發副組長王慶鈞說。台灣光電半導體產業協會副秘書長，同時也是工研院電光系統所組長朱慕道表示：「我們將實驗參數導入巨量資料庫，透過相關參數的優化，節省製程開發驗證的時間。透過知識系統的建立，也能縮短相關人才的養成時間。」藉由經濟部技術處科技專案支持，工研院團隊和學校教授研究如何建立磊晶反應機制；經過一年多的淬煉，到2014年，團隊已將準確率提升到92%，並且完成第一代系統，成功導入產業應用。面對LED產業看似危機又是轉機的關鍵點，工研院以自家技術含量強化國內LED廠的磊晶製程，穩固台灣LED市場地位。「透過磊晶製程調控虛實整合系統，我們希望能整合軟硬體資源，結合使用者和製造業者，讓台灣能進一步自主掌握製程和設備。」王慶鈞強調：「台灣LED製造業界所使用的設備都由國外進口，新產品及技術的開發方向很容易提前曝光，形成競爭劣勢，因此設備國產化是非常重要的。」工研院研發團隊透過相關領域的合作，逐步從軟體參數、硬體改善朝向虛實整合發展，並積極與產業界合作，期望能針對台灣LED、太陽能及面板產業的需求開發相關半導體設備，協助業界打造更強大的競爭力。，