台積電承諾會在南科投資逾6，
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，000億元興建3奈米新廠，
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，且未來五年的資本支出，
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，將以5~10%幅度成長。台積電供應鏈推估，
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，以台積電資本支出的規模，
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，未來五年都會維持在百億美元之上，
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，估計將花費高達新台幣1.8兆元在設備、材料和無塵室和環保回收設備的投資，
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，將吸引全球頂尖半導體設備和材料廠向台灣靠攏，形成強而有力的新聚落。台積電張忠謀宣布退休後，日前接受外媒訪問時表示，台積電未來五年資本支出將以5%至10%幅度成長，每年資本支出提高至多達10億美元，因製程技術愈複雜，成本也愈高。他強調3奈米新廠投資金額將會超過200億美元（超過新台幣6，000億元），而台積電目前一年資本支出約100億美元，以維持與英特爾和三星電子並駕齊驅的競爭力。台積電3奈米投資計畫，帶動的族聚效益相當龐大，不僅奠定台灣半導體在全球重要地位，尤其是晶圓代工和後段封測持續在全球領先，相關供應鏈形成的產業聚落，也是台灣半導體產業仍可持續領先中國大陸的最佳憑藉。配合台積電3奈米投資計畫，已有多家半導體設備和材料廠，都同時宣布擴大在台投資，以利縮短交期並協助台積電降低成本。這些廠商包括美商應材、荷商艾司摩爾（ASML）、德商默克（Merck）、美商科林研發（Lam Research）、日商艾爾斯（RSTechnologies）及美商英特格等，都擴大在台布局，包括設備應用組裝中心，以及技術和材料研發中心。據估計，台積電龐大的設備和採購商機，絕大部分都會落在這些知名的國際半導體設備和材料大廠上，台商頂多在周邊或耗材分到商機；部分項目是這些大廠將備品或零組件委由台灣設備商加工，但金額估計有近九成都會落在外商手中。業界人士指出，台積電如何藉由此投資案，協助本土設備和材料廠升級，將是未來應思考的課題。，